污染的代价高昂,20 多年来,APIMS *直是气体混合物低含量成分在线检测的研究和工业标准。我们的 VeraSpec APIMS 在半导体气体分析中采用19mm 三滤四*杆质量过滤器,以实现*佳性能、可靠性和正常运行时间。
适用于散装气体分析的行业*佳检测下限 (LDL)
对散装气体中的所有关键杂质进行实时多物种监测,包括微量 O 2、H 2、H 2 O、CH 4、CO、CO 2、Xe 等
完善、强大的质谱技术
无与伦比的测量范围,从 PPT 到 100%,具有独特的双源电离配置